Co je filtr ULPA? Jak se liší od HEPA a kam každý patří

HEPA filtr podle EN 1822 obvykle označuje H13 nebo H14. Filtr ULPA označuje U15, U16 nebo U17. Skok z H14 na U15 vypadá na papíře malý, ale z hlediska penetrace je to zásadní krok. H14 umožňuje maximální celkovou penetraci 0,005 %, zatímco U15 ji snižuje na 0,0005 %. To je 10× snížení povoleného průniku.

To je první věc, kterou by si kupující měli zapamatovat:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Testovacím základem je MPPS, ne jen prosté 0,3 μm marketingové prohlášení

Vyšší účinnost obvykle znamená přísnější kontrolu kontaminace, ale také větší citlivost systému na návrh proudění vzduchu a pokles tlaku

Třídy účinnosti EN 1822

Podle EN 1822 jsou běžně uváděné třídy vysoké{1}}účinnosti:

•H13: Vyšší nebo rovna 99,95 % celkové účinnosti

•H14: Vyšší nebo rovna 99,995 % celkové účinnosti

•U15: Vyšší nebo rovna 99,9995 % celkové účinnosti

•U16: Vyšší nebo rovna 99,99995 % celkové účinnosti

•U17: Vyšší nebo rovna 99,999995 % celkové účinnosti

Stejná tabulka tříd také zahrnuje místní limity účinnosti / penetrace, na kterých záleží, když je skenování netěsností součástí akceptačního požadavku.

Tady začíná zmatek.

Na trhu mnoho datových listů ULPA stále popisuje výkon jako 99,9995 % při 0,12 μm. Produktová literatura AAF to dělá přímo pro ULPA moduly a krabicové filtry. Tato formulace je stále běžná a známá mnoha inženýrům. Ale logika formální klasifikace podle EN 1822 / ISO 29463 je založena na testování MPPS. To znamená, že nejbezpečnější způsob porovnání produktů je:

•Nejprve zkontrolujte třídu: H14, U15, U16, U17

•Potvrďte zkušební normu: EN 1822 / ISO 29463

•Potom zkontrolujte, jak dodavatel uvádí naměřenou účinnost v datovém listu

Co skok U15 skutečně znamená

Naši inženýři často vidí, jak se kupující chovajíU15jako "jen o něco lepší než H14." Je to lepší než to. Přípustná celková penetrace klesne o jedno desetinné místo. Z hlediska čistých prostor na tom záleží, když proces již bojuje na úrovni defektů, nikoli pouze na úrovni-komfortu místnosti.

Zdravotní péče a operační sály: cílem je kontrola infekce, nikoli výtěžek plátků

Při navrhování zdravotní péče je hlavním zájmem kontrola infekčního rizika přenášeného vzduchem, kontaminace chirurgických-míst, tlakových vztahů a čistého proudění vzduchu nad kritickou zónou. Zdravotní směrnice ASHRAE to uvádíHEPA filtry jsou vyžadovány standardem 170 pouze pro místnosti s ochranným-prostředímne ve všech oblastech zdravotnictví. U operačních sálů je kladen důraz na pole přívodního difuzoru, schéma proudění vzduchu a přetlakování místnosti. To je důvod, proč se diskuse o zdravotnictví obvykle soustředíHEPA, nikoli ULPA.

Existují zdravotnické produkty, které nabízejí volitelný výkon ULPA. Literatura o ventilaci operačních sálů společnosti Camfil-zmiňuje pro některé systémy volitelné filtry ULPA. To ale nemění širší pravidlo:standardním měřítkem zdravotní péče je filtrace-třídy HEPA, zatímco ULPA je speciální případ, nikoli výchozí odpověď.

Čisté prostory pro polovodiče jsou různé. Pokyny společnosti Camfil pro polovodiče popisují továrny zaměřené na úrovně částic ISO třídy 1 spolu s přísnou kontrolou vzdušné molekulární kontaminace (AMC). Zdůrazňuje také použití HEPA a ULPA filtrů v aplikacích, jako je litografie, leptání, difúze, metalizace, iontová implantace, inspekční nástroje a skladování nitkového kříže nebo destiček. MANN+HUMMEL také popisuje FFU systémy pro čisté prostory s použitím prvků H14 až U17.

To je důvod, proč kupující polovodičů často přecházejí z HEPA na ULPA:

•kritické velikosti částic jsou menší

•ztráta výnosu je přímo vázána na kontaminaci v nanoměřítku

•nástroje a mini{0}}prostředí často vyžadují přísnější kontrolu než okolní továrna

• vedle částic hraje roli molekulární kontaminace ve vzduchu

Jednoduché pravidlo:
•Pokud místnost chrání pracovní postup pacienta a personálu, HEPA je obvykle referenčním bodem.
•Pokud místnost chrání plátek, masku, nitkový kříž nebo pokročilý procesní nástroj, ULPA se stává mnohem běžnějším

Ne. Ne automaticky.

Lepší filtr na papíře není vždy lepší inženýrskou volbou v terénu.

Kupující by také měli porovnávat:

• Počáteční odpor

• přípustný konečný pokles tlaku

• kapacita ventilátoru a náklady na energii

•rovnoměrnost proudění vzduchu

•požadavky na test těsnění a skenování-

•odplyňovací chování

•riziko aplikace, pokud se filtr rychleji ucpe nebo si vynutí přepracování vzduchového systému

Naši inženýři často vidí specifikaci ULPA tam, kde by H14 splnila skutečný procesní požadavek s nižším odporem systému a nižšími provozními náklady. Dochází také k opačné chybě: HEPA se zkopíruje do polovodičového nebo mikroelektronického RFQ jednoduše proto, že je to známější termín. Ani jedna zkratka není dobrá praxe zadávání zakázek.

Tento bod je neustále přehlížen.

V prostředí polovodičů a mikroelektroniky nejsou problémem jen částice. Je to také molekulární uvolňování ze samotného filtru. Camfil říká, že její řada polovodičových předfiltrů je navržena tak, aby chránila HEPA filtry bez uvolňování boru, a její produkty HEPA/ULPA pro polovodičové použití jsou navrženy pro velmi nízké odplyňování. AAF uvádí totéž ze strany mikroelektroniky a uvádí, že filtrační médium -bez boru a chemicky inertní filtrační médium omezuje-plynování, které může poškodit mikroelektroniku. Hollingsworth & Vose také popisuje svá mikroskleněná média s nízkým-bórem jako navržená pro čisté prostory v polovodičových továrnách.

Při výrobě polovodičů není stopová kontaminace teoretická. Molekulární kontaminace ve vzduchu a chemické zbytky mohou ovlivnit povrchy destiček, optiku a procesní nástroje. Camfil výslovně poznamenává, že nežádoucí reakce zahrnující kyseliny, zásady, organické látky, žáruvzdorné materiály adopantůmůže způsobit závady a snížit účinnost zařízení. Bór je dotujícím prvkem při zpracování polovodičů, takže nekontrolované uvolňování boru z materiálů v cestě vzduchu je přesně to, čemu se fabulace snaží vyhnout.

Proto kupující v elektronice často žádají:

•nízký-bormédia

•nízké-odplyňovánílepidla a komponenty

• ULPA nebo špičkové{0}}moduly HEPA/ULPA vyrobené speciálně pro mikroelektroniku

• Filtry pro čisté prostory přizpůsobené prostředí litografie, leptání, tenkého filmu nebo inspekčního nástroje

To je důležité. Filtrační média s nízkým-bórem nejsou nutná v každé čisté místnosti.

Důležitým se stává, když:

proces je polovodičový nebo mikroelektronika

kupující řídí AMC a odplyňování materiálu

továrna nebo výrobce nástrojů má přísné specifikace na chemickou čistotu

náklady na stopovou kontaminaci jsou extrémně vysoké

U mnoha farmaceutických, nemocničních nebo standardních průmyslových čistých prostor se tento požadavek nemusí nikdy objevit v RFQ.

1. Porovnání HEPA při 0,3 μm s ULPA při 0,12 μm bez kontroly standardu

To je srovnání jablek-k-pomerančům, pokud nepotvrdíte uvedený základ testu a třídu. Klasifikace EN 1822 / ISO 29463 je postavena na MPPS.

2. Určení ULPA, protože to „zní bezpečněji“

Vyšší účinnost není bezplatný upgrade, pokud systém nemůže absorbovat pokles tlaku nebo pokud to proces nepotřebuje.

3. Ignorování odplyňování a chemické čistoty v elektronice

V polovodičových aplikacích záleží na vlastních materiálech filtru. Konstrukce s nízkým-borem a nízkým-odplyněním může být stejně důležitá jako třída účinnosti.

4. Zápis "ULPA filtr" do RFQ bez třídy

Měl by říct seriózní RFQU15, U16 nebo U17plus zkušební standard a velikost.